采納離子阱或冷凝擋油阱預防抽氣零碎的返油
采納離子阱
離子阱的構造原理如圖21所示,正常將離子阱裝置在油封機械真空泵的出口管路上。離子阱是利用冷負極磁場束縛氣體尖端放電的原理,在一個水冷圓柱狀負極筒的核心拔出一根棒狀陽極(Ua=3kV),由一環狀永遠磁石提供一個軸向磁場。離子阱作業在10～10-2Pa壓力規模內,那末尖端放電強度剩余大,當油蒸氣分子穿過尖端放電空間時,將被電子和離子轟廝打成碎片。而后在電極名義上聚合生成高分子量的碳氫固態膜。
(a)橫截面的電子軌跡(b)構造示用意
圖21離子阱原理示用意
圖22示出一種帶水冷隔板的離子阱原理圖。阱由陽極、負極、水冷板及磁鋼組成。陽極接3kV正低壓,負極是阱殼體(接地)磁鋼裝在殼體里面,水冷板在于殼省外部,對著電泵的抽氣口。
圖22帶水冷隔板離子阱原理圖
電泵作業時,返流的油蒸氣碰到阱內的水冷板后,被反照到阱的殼體壁上。因為陽極與負極之間有3kV的直流正低壓,電極之間能夠產慪氣體尖端放電,尖端放電構成的電子在由阱內部磁鋼產生的磁場的疏導下繼續電鉆形靜止,使被抽氣體更為無效地水解。水解產生的離子在磁場作用下,打到負極(殼體壁)上,把已沉積在殼體壁上的油分子轟擊成碎片,并產生聚合物吸附在阱的內壁上。
離子阱的擋油效率可達99%,這種阱運用保護容易,但構造比擬簡單。設置冷凝擋油阱
在零碎的前級管路上設置高溫冷凝阱拿獲電泵返流的油蒸汽分子,高溫冷凝阱的擋油率因冷阱的多少何形態而異。關于低流導的液氮阱,擋油率乃至可達成99.9%。但半超導體致冷冷阱,對電泵油合成的輕餾份(如CH2等)均有效。
a.液氮擋油阱
液氮冷阱拿獲油蒸氣的原理與放散泵冷相反,也是利用高溫名義來拿獲油蒸氣的。這種阱能夠使返油率升高97%。然而要時常補給液氮,要不當液面升高后,阱的熱度升高,已拿獲的油分子又會開釋進去。鑒于這種起因,工事上運用不多。
b.半超導體致冷擋油阱
這種阱致冷原理與半超導體時差制冷障板相反。那末阱的熱度為-40℃,能夠使返油率升高75%,可見擋油動機不如上述各類冷阱。但這種冷阱操作不便,革除油蒸氣分子輕易,只有將制冷元件反向接通,冷端會變為熱端,把吸附的油蒸氣革除。
羅茨水環真空機組、羅茨旋片真空機組
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